近日，貴金屬集團(tuán)稀貴金屬綜合利用新技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室靶材研發(fā)團(tuán)隊(duì)在貴金屬靶材應(yīng)用基礎(chǔ)研究領(lǐng)域取得了重要進(jìn)展。其項(xiàng)目研究為深入理解磁控濺射過程中鎳鉑靶材表面結(jié)瘤的形成機(jī)制提供了全新的視角，為解決濺射鍍膜中的關(guān)鍵技術(shù)難題提供了理論依據(jù)。

據(jù)了解，磁控濺射過程中鎳鉑靶材表面結(jié)瘤影響著鍍膜質(zhì)量和靶材壽命，長(zhǎng)期以來，一直是磁控濺射領(lǐng)域亟待解決的技術(shù)瓶頸。靶材團(tuán)隊(duì)經(jīng)過2年多的深入研究，發(fā)現(xiàn)靶材表面的缺陷區(qū)域是導(dǎo)致結(jié)瘤形成的關(guān)鍵因素。

本項(xiàng)目研究得到了國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、云嶺興滇英才計(jì)劃和云南貴金屬實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目等的支持，研究成果“Mechanisms of Nodule Formation on Ni-Pt Targets During Sputtering”被Elsevier出版的國(guó)際知名期刊Applied Surface Science（影響因子IF6.3，中科院二區(qū)TOP期刊）正式接收發(fā)表。成果的取得為優(yōu)化鎳鉑靶材質(zhì)量提供了重要的理論基礎(chǔ)，為提高靶材成品率提供了關(guān)鍵支撐，解決行業(yè)共性難題，進(jìn)一步鞏固了貴金屬集團(tuán)在貴金屬靶材學(xué)術(shù)及產(chǎn)品研發(fā)領(lǐng)域的國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位。